12:50～12:55　開会の挨拶　

　　　　　　　　山口大学微細加工支援室　室長　山本 節夫　

12:55～13:00　ご挨拶　

　　　　　　　　　微細加工プラットフォームコンソーシアム代表（京都大学）

　　　　　　　　　小寺 秀俊　氏　

13:00～13:40　基調講演

　　　　　　　　「先端計測・微細加工技術からイノベーション創出へ」　

　　　　　　　　　公益財団法人北九州産業学術推進機構　理事長　松永 守央　氏

13:40～14:20　基調講演

　　　　　　　　「日本の圧力真空標準の整備と標準コンダクタンスエレメントの開発」

　　　　　　　　　国立研究開発法人 産業技術総合研究所 工学計測標準研究部門

　　 　　　 　　　圧力真空標準研究グループ 主任研究員　吉田 肇　氏

　　休憩

14:40～14:55　成果報告

　　　　　　　　　「CLC-Si薄膜（100）面方位制御へのレーザパワーの影響」

　　　　　　　　　奈良先端科学技術大学院大学(兼Sasaki Consulting)　佐々木 伸夫　氏

14:55～15:10　成果報告

　　　　　　　　　「ミストCVD法を用いた光吸収層用酸化物・硫化物の成長」

　　　　　　　　　京都大学大学院エネルギー科学研究科　助教　池之上 卓己　氏

15:10～15:25　成果報告

　　　　　　　　　「ナノ相分離型液晶性電子機能材料を用いた薄膜デバイスの作製」

　　　　　　　　　香川大学工学部 材料創造工学科　教授　舟橋 正浩　氏

15:25～15:40　成果報告

　　　　　　　　　「窒化シリコン薄膜を用いた超微細デバイス用基板の作製」

　　　　　　　　　香川高等専門学校 電子システム工学科　教授　長岡 史郎　氏

15:40～15:55　成果報告

　　　　　　　　　「生体情報計測のための１チップ血管動態測定センサ」

　　　　　　　　　九州大学大学院　工学研究院　

　　　　　　　　　機械工学部門・ナノマイクロ医工学研究室　助教　野上 大史　氏

15:55～16:10　成果報告

　　　　　　　　　「伝熱面の機能化による伝熱促進に関する研究」

　　　　　　　　　宇部工業高等専門学校　機械工学科　准教授　徳永 敦士　氏

16:10～16:25　成果報告

　　　　　　　　　「非化学増幅型電子線レジストの開発」

　　　　　　　　　合同会社　グルーオンラボ　星野 亮一　氏

16:25～16:40　成果報告

　　　　　　　　　「省合金型二相ステンレス鋼の真空特性」

　　　　　　　　　新日鐵住金ステンレス株式会社　リサーチ・フェロー　柘植 信二　氏

16:40～16:45　閉会のご挨拶　

　　　　　　　　　広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所 副所長　横山 新　氏

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山口大学 大学研究推進機構　微細加工支援室