第1回広島大学・山口大学・香川大学・FAIS合同シンポジウムを開催しました

2013年11月20日（水）、広島大学霞キャンパス広仁会館にて「第1回広島大学・山口大学・香川大学・FAIS合同シンポジウム」が開催されました。
シンポジウムでは、微細加工についての基調講演と平成24年度の成果報告を行い約100名もの方が参加されました。

山口大学微細加工支援室では、広島大学、香川大学と連携して 広範囲な加工対象物の微細加工支援を行っております。
各機関の支援にはそれぞれ特徴があり、 山口大学は真空性能評価装置、薄膜作製装置などのユニークな装置を活用した ナノエレクトロニクス（非シリコン系）を、 広島大学は30nm以下のシリコンベースの微細加工技術、超微細デバイス技術を、 香川大学はN&MEMSの新規加工技術と先端デバイス開発・評価を得意としています。
学内・学外を問わず支援を行っておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

http://www.nanotech.sangaku.yamaguchi-u.ac.jp/